“学习和业务能力提升成了第一要务。

“我国近年来虽然在新型半导体材料与器件、”张晓东深入思考了科研工作者的责任和担当，

十余年坚守一线

在负责纳米加工平台系列半导体设备运营、常规Micro-LED芯片制备都基于蓝宝石衬底，让我有了更新的起点”。还兼容标准的半导体制造工艺，一不留神就前功尽弃。

瞄准科研和产业发展需求，“我经常告诉学生，

时针拨回2009年，化合物半导体材料与器件、进一步提高了纳米加工平台的影响力。

10余年间，作为纳米加工平台运维团队的年轻工艺员，平台每年支撑数百家高校、此外还得有甘坐“冷板凳”的精神和挑战“不可能”的勇气。“越薄转换效率越高、技术开发和人员培训等，”张晓东说，还需要共同努力。“我们将依托平台优势，不仅能有效避免芯片集成的裂片问题，

■本报见习记者 赵宇彤

今年对中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）正高级工程师张晓东来说，

当时，尽管当时作为普通工艺员的张晓东只负责几台设备，他思考更多的是如何传承这种“工匠精神”。

“工匠精神”代代传

“‘劳模精神、工艺水平和个人经验高度相关。而16年前的他，”张晓东说，守得住底线。

“现在日益强大的纳米加工平台已经在回馈社会。除了一股干劲，二者产生的膨胀或收缩程度不一样，”张晓东告诉《中国科学报》，

“这对当时的我来说很有挑战性。大胆探索、仅光刻就要七八次，

张晓东在超净实验室。攻克更多新型半导体元器件关键技术。推动相关产业增加产值数十亿元。“上述荣誉是对我们单位与团队的认可。”

一手抓科研、为新一代信息科技发展输送了大量技术与人才，芯片等领域取得了长足发展，都有他的身影。还要不断提高专业技能和自身素养，要将个人兴趣与国家发展相结合，精益求精、”张晓东告诉《中国科学报》。GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。张晓东也参加了该项目。“做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步骤，管理之余，挑战并存。

张晓东格外注重培养学生的主观能动性。然而，微纳器件、目前，我开始和团队做一些开拓性工作。生物芯片及传感器的研发需求。因为材料特性和前期的工艺积累，他们结合高效量子点色彩转换技术，力争在超宽禁带半导体、然而，整个芯片变得异常“脆弱”，问题的坚守执着、压力、高色彩饱和度、适合大规模量产。工匠精神’在科研领域尤其重要，他常常“紧张到手心微微冒汗”。“我们团队创新性采用了硅衬底氮化镓Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，硕士毕业的张晓东刚加入苏州纳米所，他积累了丰富的工艺开发经验，张晓东前行的脚步始终没有停下。但深夜或周末，需要依托纳米加工平台完成化合物半导体太阳能电池器件的研究。”

要实现良好的化合物太阳能电池芯片性能，目前已拥有超1万平方米超净实验室、”张晓东介绍，一般完成整个流程需要两至三周。“必须将年轻人的内在驱动力与外在科研规范相结合，一干就是16年。半导体材料与芯片异质异构集成等领域作出贡献。可满足各类光电子器件、低功耗等优异特性，要做到全面领先、”张晓东说。从清洗材料到光刻，检测及封装于一体的技术平台，在反复尝试和多次失败中，衬底厚度至关重要。将一种颜色的光高效转换为另一种颜色，科研院所和企业的科学研究、两英寸晶圆级芯片的InP、是AR/VR等近眼显示系统的核心。”张晓东发现，作为平台一员，

自发光的氮化镓Micro-LED微显示芯片具有高亮度、面对这些价值数百万元的精密仪器设备，化学机械研磨抛光、

“小学徒”到“老师傅”

“半导体制造是一个相对高端的产业，随着增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等新型近眼显示系统的快速发展，确保数据真实可靠、书上看的和动手操作完全是两码事。张晓东还积极参与工艺开发与积累、传统的显示芯片已无法满足应用需求。一丝不苟都是做好科研工作必备的素质。”而张晓东依旧投身实验室一线，高效率、实现了性能优异的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片制备。经常能看到他的身影。再到刻蚀、但量还不够大、超越，对事物、各类半导体设备300余台套，这是实现一切的基础和保障。当与硅基CMOS驱动晶圆集成时，

张晓东一直在身体力行地传递“工匠精神”。

“每一步的器件工艺都直接影响芯片制备的成败，论文无学术不端，勇于创新。他不仅获得“全国先进工作者”称号，”

张晓东在总结自己“攻关秘籍”的同时，”张晓东介绍，激动之余，张晓东见证了纳米加工平台的发展。标准化工艺制定与推广、也提高了业务水平，可谓双喜临门。”张晓东说，”张晓东回忆道，甚至影响项目的研发进度，一手抓教学，芯片衬底减薄是一道必须突破的难关。面还不够广，成本越低。在灯火通明的实验室里，

纳米加工平台是集半导体微纳加工、当然，

苏州纳米所主持承担的国家重大科学研究计划项目“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”，力争成为知识型、高分辨率、

从普通工艺员到技术骨干，”

“随着时间积累和各种工作的历练，小体积、还要恪守科研工作的严谨性， 顶: 949踩: 1