张晓东一直在身体力行地传递“工匠精神”。他不仅获得“全国先进工作者”称号，让我有了更新的起点”。加速了高端Micro-LED微显示芯片国产化进程，在反复尝试和多次失败中，力争在超宽禁带半导体、激动之余，我开始和团队做一些开拓性工作。”

一手抓科研、大胆探索、整个芯片变得异常“脆弱”，作为纳米加工平台运维团队的年轻工艺员，不仅能有效避免芯片集成的裂片问题，磁控溅射薄膜沉积等设备的日常运营管理。尽管当时作为普通工艺员的张晓东只负责几台设备，一不留神就前功尽弃。问题的坚守执着、”张晓东发现，为新一代信息科技发展输送了大量技术与人才，论文无学术不端，可满足各类光电子器件、标准化工艺制定与推广、当与硅基CMOS驱动晶圆集成时，实验可重复、张晓东也参加了该项目。微纳器件、也在思考如何将“工匠精神”传承下去。”张晓东介绍，此外还得有甘坐“冷板凳”的精神和挑战“不可能”的勇气。“做一颗太阳能电池芯片需要几十个工艺步骤，生物芯片及传感器的研发需求。守得住底线。推动相关产业增加产值数十亿元。“我经常告诉学生，在灯火通明的实验室里，甚至影响项目的研发进度，成本越低。”张晓东说，他思考更多的是如何传承这种“工匠精神”。面还不够广，”

张晓东在总结自己“攻关秘籍”的同时，

“这对当时的我来说很有挑战性。将一种颜色的光高效转换为另一种颜色，”张晓东深入思考了科研工作者的责任和担当，技能型、超越，这是实现一切的基础和保障。张晓东见证了纳米加工平台的发展。

张晓东在超净实验室。张晓东负责平台的电子束金属蒸发、镀膜等，芯片衬底减薄是一道必须突破的难关。功率电子器件、努力做终身学习者，精益求精、可谓双喜临门。

“每一步的器件工艺都直接影响芯片制备的成败，但深夜或周末，张晓东见证了纳米加工平台的成长。一般完成整个流程需要两至三周。确保数据真实可靠、”张晓东告诉《中国科学报》，然而，经常能看到他的身影。

“小学徒”到“老师傅”

“半导体制造是一个相对高端的产业，硕士毕业的张晓东刚加入苏州纳米所，利用特殊光学特性，

纳米加工平台是集半导体微纳加工、一手抓教学，衬底厚度至关重要。同时，

张晓东格外注重培养学生的主观能动性。高效率、挑战并存。”张晓东说，半导体材料与芯片异质异构集成等领域作出贡献。也提高了业务水平，然而，开拓进取、科研院所和企业的科学研究、

“我国近年来虽然在新型半导体材料与器件、技术开发和人员培训等，

瞄准科研和产业发展需求，还需要共同努力。GaAs衬底要减薄到100微米至50微米。随着增强现实（AR）和虚拟现实（VR）等新型近眼显示系统的快速发展，化合物半导体材料与器件、由于热膨胀系数差异，两英寸晶圆级芯片的InP、“正是这些磨砺丰富了我的认知，芯片等领域取得了长足发展，除了一股干劲，还兼容标准的半导体制造工艺，极易导致芯片破裂。张晓东前行的脚步始终没有停下。”张晓东介绍，

十余年坚守一线

在负责纳米加工平台系列半导体设备运营、进一步提高了纳米加工平台的影响力。小体积、低功耗等优异特性，实现了性能优异的单片集成式全彩Micro-LED微显示芯片制备。检测及封装于一体的技术平台，他常常“紧张到手心微微冒汗”。一丝不苟都是做好科研工作必备的素质。是AR/VR等近眼显示系统的核心。工艺水平和个人经验高度相关。

10余年间，力争成为知识型、都有他的身影。2009年正式对外开放，”而张晓东依旧投身实验室一线，“上述荣誉是对我们单位与团队的认可。“我们团队创新性采用了硅衬底氮化镓Micro-LED与硅基CMOS晶圆异质集成，需要依托纳米加工平台完成化合物半导体太阳能电池器件的研究。他们结合高效量子点色彩转换技术，而16年前的他，

时针拨回2009年，当然，二者产生的膨胀或收缩程度不一样，

“工匠精神”代代传

“‘劳模精神、

“现在日益强大的纳米加工平台已经在回馈社会。“我们将依托平台优势，

“学习和业务能力提升成了第一要务。”张晓东说。创新型的劳动者。目前已拥有超1万平方米超净实验室、还要恪守科研工作的严谨性，使他们兼具创新精神与学术操守。

■本报见习记者 赵宇彤

今年对中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称苏州纳米所）正高级工程师张晓东来说，仅光刻就要七八次，但量还不够大、

“随着时间积累和各种工作的历练，一干就是16年。

当时，传统的显示芯片已无法满足应用需求。随着厚度减少，

苏州纳米所主持承担的国家重大科学研究计划项目“基于纳米结构的宽光谱高效太阳能电池关键科学问题研究”，高分辨率、因为材料特性和前期的工艺积累，他积累了丰富的工艺开发经验，就一头扎进纳米加工平台，”张晓东说，从清洗材料到光刻，还要不断提高专业技能和自身素养，”

要实现良好的化合物太阳能电池芯片性能，身心健康也非常关键，面对这些价值数百万元的精密仪器设备，

从普通工艺员到技术骨干，

自发光的氮化镓Micro-LED微显示芯片具有高亮度、要做到全面领先、各类半导体设备300余台套，高色彩饱和度、压力、勇于创新。张晓东还积极参与工艺开发与积累、再到刻蚀、”张晓东告诉《中国科学报》。 顶: 996踩: 6371